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環(huán)球速遞！芯源微：浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機數(shù)據(jù)均達(dá)客戶量產(chǎn)指標(biāo)
2023-03-06 20:02:44 來源：金融界
(資料圖)
芯源微(行情688037,診股)接受機構(gòu)調(diào)研時表示，此前公司首臺浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機順利運付客戶現(xiàn)場，并完成了各項工藝驗證及光刻機聯(lián)機產(chǎn)能驗證。機臺與國際主流光刻機聯(lián)機作業(yè)，完成了客戶端十余款光阻、多層layer量產(chǎn)驗證，數(shù)據(jù)均達(dá)到客戶量產(chǎn)指標(biāo)。浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機的發(fā)布，標(biāo)志著公司在前道涂膠顯影領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了對28nm及以上所有工藝節(jié)點的全覆蓋，即可實現(xiàn)全面國產(chǎn)替代。
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