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賽微電子:公司擁有基于CMOS兼容的MEMS工藝

2023-10-10 23:25:54 來(lái)源:金融界


(資料圖)

金融界10月10日消息,賽微電子在互動(dòng)平臺(tái)表示,公司有基于CMOS兼容的MEMS工藝,這是指在生產(chǎn)制造MEMS晶圓時(shí),注重工藝的兼容性,可以響應(yīng)客戶兼容CMOS的工藝需求,實(shí)現(xiàn)不同器件的晶圓級(jí)堆疊制造。公司解釋?zhuān)琈EMS工藝技術(shù)最早來(lái)源于CMOS工藝技術(shù),是CMOS集成電路的一種擴(kuò)展。CMOS多注重二維(x-y平面)工藝分辨率,而MEMS的Fab則更注重三維(x-y-z)工藝與集成。傳統(tǒng)意義上,CMOS負(fù)責(zé)運(yùn)算和存儲(chǔ),MEMS負(fù)責(zé)感知與執(zhí)行。MEMS芯片同樣涉及物理、化學(xué),同時(shí)還涉及生物、光學(xué)等不同學(xué)科知識(shí)和技術(shù)的交叉運(yùn)用,需要使用相對(duì)復(fù)雜與更加多樣化的材料、結(jié)構(gòu)與集成工藝。

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